特許

J-GLOBAL ID：200903063676484539

感光性組成物

発明者： 上西 一也 ,  梅原 明 ,  青谷 能昌 ,  山岡 亜夫
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-159093
公開番号（公開出願番号）：特開平5-005993
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：

【要約】【構成】 酸を触媒とする反応によりアルカリ水溶液に対する親和性あるいは溶解性が増加する性質を有する化合物とオニウム化合物の芳香族スルホン酸塩を含む事を特徴とする化学増幅系感光性組成物。【効果】 感度、解像力及び残膜率が高い。

請求項（抜粋）：

酸を触媒とする反応によりアルカリ水溶液に対する親和性あるいは溶解性が増加する性質を有する化合物とオニウム化合物の芳香族スルホン酸塩を含む事を特徴とする化学増幅系感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-296801
  
• 特開昭59-045439
  
• 特開平3-152544
  
• 特開平3-167249