特許
J-GLOBAL ID：200903063678774003
傾き調整機能付きプレス装置、傾き調整機能付きパターン形成装置、型の傾き調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
五丁 龍志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-222162
公開番号（公開出願番号）：特開2007-296530
出願日： 2004年07月29日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：
【課題】 精度の高い傾き調整機能付きプレス装置、傾き調整機能付きパターン形成装置、型の傾き調整方法を提供すること。【解決手段】 加工対象物200に転写するための所定のパターンが形成されている型100と、加工対象物200を保持するための対象物保持手段20と、型100を保持するための型保持部41を一端に有すると共に、型100のパターンが形成されている面の中心を中心点とする凸球面46を有する型保持手段40と、凸球面46と当接する凸球面46と同径の凹球面55を有し、型保持手段40を介して型100を加工対象物200に押圧する押圧手段50と、凸球面46を凹球面55に対して自由な方向に変位させるための傾き調整手段60と、を具備する傾き調整機能付きパターン形成装置を用いて、正確に型100と加工対象物200との相対的な傾きを調整する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
所定のパターンが形成されているパターン面を有する型を加工対象物に押圧するためのプレス装置であって、
前記型を保持するための型保持部を一端に有すると共に、前記パターン面の中心を中心点とする凸球面を有する型保持手段と、
前記凸球面と当接する前記凸球面と同径の凹球面を有し、前記型保持手段を介して前記型を加工対象物に押圧する押圧手段と、
前記凸球面を前記凹球面に対して自由な方向に変位させるための傾き調整手段と、
を具備することを特徴とする傾き調整機能付きプレス装置。
IPC (3件)：
B30B 15/06
, B81C 5/00
, H01L 21/027
B30B15/06 H
, B81C5/00
, H01L21/30 502D
4E088CA10
, 5F046AA28
, 5F046CC01
, 5F046CC02
, 5F046DA05
