特許
J-GLOBAL ID：200903063683537990
超純水の製造法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-301993
公開番号（公開出願番号）：特開平5-138162
出願日： 1991年11月18日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】 全有機体炭素含有量が極めて少ない超純水を製造する。【構成】 全有機体炭素含有量10ppm以下の純水に短波長紫外線を照射したのち、陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹脂との混合床にSV100以上で通過させる。【効果】 イオン交換樹脂からの溶出物の影響を最少限に抑えることができる。
請求項（抜粋）：
全有機体炭素含有量10ppb以下の純水に短波長紫外線を照射したのち、該純水を陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹脂の混合床に空間速度100以上で通過させることを特徴とする超純水の製造法。
IPC (6件)：
C02F 1/42
, B01D 61/14 500
, B01J 47/04
, C02F 1/32
, C02F 1/44
, C02F 9/00
