断面観察用共焦点レ-ザ走査型顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉持裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-186366
公開番号（公開出願番号）：特開平5-026635
出願日： 1991年07月25日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】半導体レーザ光源の温度を変えて出力波長を変化させて、高精度を得ることが困難な機械的送りを使わないで、共焦点位置関係を高精度に変えて深さプロファイルを得るようにした共焦点レーザ走査型顕微鏡を提供する。【構成】半導体レ-ザ1からの光をほぼ円形断面の平行光束に整形し、偏光光学系12,14を含む光学系で試料面19を走査し戻り光を1/4λ板11を通し偏光ビームスプリッタ7で分離し、試料面と共焦点関係にあるピンホール9を通してフォトダイオード10で検出し、X,Y偏向信号と同期してCRT等に画像表示する共焦点レーザ走査型顕微鏡において、試料面をZ方向に機械的に移動させる代りに、温度制御系20により半導体レーザの温度を変化させて出力光の波長を変えて試料上の焦点面のZ方向の移動を利用して等価的に試料面を移動させて試料の深さ方向のプロファイルを得る。

請求項（抜粋）：

半導体レ-ザ光源、該レ-ザ光源からのレ-ザビ-ムを平行光束とするコリメ-タ光学系、該レ-ザ光束をX、Yの2次元平面上に偏向させる偏向光学系、偏向した平行光束を観察する試料の第1等価面上に集束させる第1レンズ、前記第1等価面を該試料と関係ずける対物レンズ、該試料からの戻り光を分離するビ-ムスプリッタ、該ビ-ムスプリッタにより分離された戻り光を、第2の試料等価面に集束させる第2レンズ、前記第2試料等価面上に、配置されるピンポ-ル、該ピンホ-ルを通して戻り光を電気信号に変換する光電変換素子とからなる断面観察用共焦点レ-ザ走査型顕微鏡において、前記コリメ-タ光学系、前記偏向光学系、前記第1レンズは、波長に依存する軸上の色収差を持たせるか、或いは、前記第1レンズのみが、波長に依存する軸上色収差を持たせたものであり、そして、前記半導体レ-ザ光源は、高速、精密に温度制御する温度制御手段を有し、それにより、前記半導体レ-ザの光出力波長を、前記の温度制御手段により、該レ-ザ温度を高速、精密に変化させ、前記試料の深さ方向の観察位置を変える断面観察方式を有することを特徴とする前記断面観察用共焦点レ-ザ走査型顕微鏡。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G02B 21/00 , H01S 3/18

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭64-041805
特開平2-223806
特開平2-238382

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