特許
J-GLOBAL ID：200903063687207170

偏平物品の収容箱

発明者：
クロード・ドシェ

クロード・ドシェ について


出願人/特許権者：
コミツサリア タ レネルジー アトミーク

コミツサリア タ レネルジー アトミーク について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-258659
公開番号（公開出願番号）：特開平6-199379
出願日： 1993年10月15日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：
【要約】【構成】 主に、ドア(10)によって閉じられた本体(2)から構成され、これには本体(2)の中で物品(1)の回りに準層流流れを拡散させることを可能とする空気ブロック(20)が設けられている。【効果】 シリコンウエーハ上にプリント回路を製造し処理するために用いられる。この箱はシリコンウエーハのような偏平な物品(1)をその移送作業又は貯蔵点の間におけるその移送の間中超清浄な雰囲気の中に閉じ込めることを可能とする。
請求項（抜粋）：
特別の雰囲気下において偏平な物品(1)を閉じ込めるための偏平な箱であって、偏平な本体(2)と、第1の側面(3)上の第1の開口部とを有し、さらに、物品(1)を保持するための内側側部の手段を有し、この箱は水平方向に配置され、それによって物品(1)は本体(2)の内部空間(5)の上側壁(6)及び下側壁(7)に触れることがなく、さらに、本体(2)の第1の側面(3)の開口部に面するように配置された側部ドア(10)と、本体(2)の第1の側面(3)と反対側の第2の側面(4)の開口部の上に配置され、特別の雰囲気を供給する手段(21)に接続されて本体(2)の中に第2の開口部(4)によって真空を含む特別の雰囲気を分散させる空気ブロック(20)を有することを特徴とする偏平物品の収容箱。
IPC (3件)：
B65D 85/00 ,  B65D 85/38 ,  H01L 21/68
引用特許：
審査官引用 (4件)
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