静電アクチュエータの駆動方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：岡田数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-136381
公開番号（公開出願番号）：特開平5-308783
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】移動子の移動前の待機時には当該移動子が固定子に十分に吸引保持され、かつ、待機から移動に切り替えた際には直ちに上記の移動子が移動し得るように改良された静電アクチュエータの駆動方法を提供する。【構成】絶縁性支持体1に3n(nは整数)相構造の電極を所定間隔で並べた固定子3と絶縁性薄葉体4に正負の電荷を付与した移動子6とが接するように配置されて成る静電アクチュエータにおいて、電極に印加する電圧パターンを切り替えて固定子3と移動子6との間に静電気を生じさせ、当該静電気の作用によって移動子の移動を行うに際し、当該移動子の移動前において、3相の各相の電極に正負の積算電荷量が0.1Q-<Q+<10Q-(Q-は負の電圧の積算量、Q+は正の電圧の積算量)の条件を満足する交流波形の電圧を印加する。このような電圧としては、例えば、図1に示すパターンの電圧が挙げられる。

請求項（抜粋）：

絶縁性支持体に3n(nは整数)相構造の電極を所定間隔で並べた固定子と絶縁性薄葉体に正負の電荷を付与した移動子とが接するように配置されて成る静電アクチュエータにおいて、電極に印加する電圧パターンを切り替えて固定子と移動子との間に静電気を生じさせ、当該静電気の作用によって移動子の移動を行うに際し、当該移動子の移動前において、3相の各相の電極に正負の積算電荷量が0.1Q-<Q+<10Q-(Q-は負の電圧の積算量、Q+は正の電圧の積算量)の条件を満足する交流波形の電圧を印加することを特徴とする静電アクチュエータの駆動方法。

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