特許
J-GLOBAL ID：200903063701028934
ペリクル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-085827
公開番号（公開出願番号）：特開平5-289314
出願日： 1992年04月08日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 本発明は露光用マスクの保護に用いるペリクルの改良に関し, 両面テープの発泡体からの塵埃によるマスク汚染が防止され又, マスクパターンの一部が両面テープによって隠蔽されるようなことのないぺリクルを提供することを目的とする。【構成】 ぺリクルのフレーム表面に両面テープ等接着用部材を埋め込むための溝を設けたフレームを有するように構成する。
請求項（抜粋）：
マスクの表面を保護するペリクルにおいて,ペリクルのフレームの,該マスクに貼付される面に設けられた溝と,該溝に埋め込まれた粘着用部材とを有することを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
前のページに戻る
