特許
J-GLOBAL ID：200903063707102460
レーザ加工装置及びレーザ加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鷲田 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-061912
公開番号（公開出願番号）：特開2007-237221
出願日： 2006年03月07日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：
【課題】サファイアやダイアモンドなどの硬質結晶性難加工材料の内部に、完全に閉じた構造であり、かつ輪郭が明確な中空領域を簡単な工程で形成すること。【解決手段】レーザ光源110は、加工用のフェムト秒パルスレーザを発生する。可変NDフィルタ120は、フェムト秒パルスレーザのパルスエネルギを制御する。電磁フィルタ130は、フェムト秒パルスレーザから単一パルスを切出す。油浸対物レンズ210は、単一パルスレーザを集光して加工対象材料Sの内部の集光位置に焦点像を形成する。フェムト秒パルスレーザのパルス幅、単一パルスレーザのパルスエネルギ、及び単一パルスレーザを集光する油浸対物レンズ210の開口数NAをそれぞれ最適な値に調整することにより、単一パルスレーザを集光照射するという1工程のみで、加工対象材料Sの内部に略真球状の微細で形状が整った中空領域を、完全に閉じた構造で形成することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
フェムト秒パルスレーザを発生するパルスレーザ発生手段と、
前記フェムト秒パルスレーザを加工対象材料の内部に集光照射する光学系と、を有し、
前記フェムト秒パルスレーザの集光照射位置に中空領域を形成する、
ことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (5件)：
B23K 26/36
, B23K 26/40
, B23K 26/00
, B23K 26/03
, H01S 3/00
B23K26/36
, B23K26/40
, B23K26/00 N
, B23K26/03
, H01S3/00 B
4E068AF00
, 4E068CA01
, 4E068CA02
, 4E068CA03
, 4E068CA17
, 4E068DB06
, 5F172ZZ01
