特許
J-GLOBAL ID：200903063722509193
感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィル ムレジスト
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-287457
公開番号（公開出願番号）：特開平10-110008
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】 感度及び解像力、更に細線密着力に非常に優れたドライフィルムレジストに用いられる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (a)カルボキシル基含有ポリマー、(b)エチレン性不飽和化合物、(c)光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物において、(c)光重合開始剤として、(a)と(b)の総重量に対して(c-1)N-アリール-α-アミノ酸系化合物を0.01〜1.0重量%、(c-2)N,N′-テトラアルキル-4,4′-ジアミノベンゾフェノン系化合物を0.01〜0.5重量%、(c-3)ロフィン二量体を0.5〜6.0重量%、(c-4)特定式で示される化合物を0.1〜10重量%含有する感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(a)カルボキシル基含有ポリマー、(b)エチレン性不飽和化合物、(c)光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物において、(c)光重合開始剤として、(a)と(b)の総重量に対して(c-1)N-アリール-α-アミノ酸系化合物を0.01〜1.0重量%、(c-2)N,N′-テトラアルキル-4,4′-ジアミノベンゾフェノン系化合物を0.01〜0.5重量%、(c-3)ロフィン二量体を0.5〜6.0重量%、(c-4)下記化1で示される化合物を0.1〜10重量%含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】ここで、R1、R2は水素又はアルキル基で、それらは同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。
IPC (6件)：
C08F 2/50
, G03F 7/004 512
, G03F 7/031
, H05K 3/06
, C08L 33/06
, C09D 4/06
C08F 2/50
, G03F 7/004 512
, G03F 7/031
, H05K 3/06 J
, H05K 3/06 H
, C08L 33/06
, C09D 4/06
