特許

J-GLOBAL ID：200903063724324387

光学的サンプラモジュールを使用したサンプリング波形測定装置

発明者： 橋本 昌一
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-311949
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142252
出願日： 1997年11月13日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】 ピコ秒程度のパルス波形測定を行うことができるとともに、広帯域のサンプリング波形測定装置を実現すること。【解決手段】 挟レーザパルス光がギャップ電極に照射されるサンプリングフォトコンダクタのサンプリング検出信号を積分して増幅するロックインアンプを備えた装置において、サンプリング検出信号を、挟レーザパルス光の周波数をダウンコンバートした周波数信号でサンプリングしてロックインアンプで増幅する。

請求項（抜粋）：

光電変換が行われる第1の電極と該第1の電極での光電変換により得られた電気信号が照射された光パルスに応じてサンプリングされる第2の電極とを備えたフォトコンダクタを収納し、被測定光パルスを前記フォトコンダクタの第1の電極に照射し、供給されたサンプリングパルスを基に発生した波形がプローブ状の光プローブパルスを前記フォトコンダクタの第2の電極に照射して被測定光パルスをサンプリングする光学的サンプラーモジュールを使用して被測定光パルスをサンプリング測定するサンプリング波形測定装置であって、前記被測定光パルスと同期するトリガ信号を二分する分配器と、前記分配器により二分されたトリガ信号を入力し、該トリガ信号を基に特定の繰り返し周波数を発生させるPLL回路と、前記PLL回路の出力に応じて前記光学的サンプラーモジュールの第2の電極に照射される光パルスを発生させる光パルス発生手段と、前記光学的サンプラーモジュールにてサンプリングされた波形を積分するローパスフィルタと、前記分配器により二分されたトリガ信号を入力し、特定の繰り返し周波数にダウンコンバートするダウンコンバータと、前記ダウンコンバータの出力から短パルスを発生させるパルスジェネレータと、前記ローパスフィルタ出力を前記パルスジェネレータにて発生した短パルスによりサンプリングする電気的サンプラーモジュールと、リファレンス信号を発生する基準信号発生器と、前記電気的サンプラーモジュールにおけるサンプリング結果を前記リファレンス信号により変調する変調器と、前記リファレンス信号および前記変調器出力を入力し、前記リファレンス信号により決定される前記変調器出力中の所定周波数の信号を抽出して増幅するロックインアンプとを有することを特徴とする光学的サンプラモジュールを使用したサンプリング波形測定装置。