特許

J-GLOBAL ID：200903063731427817

過酸化水素と界面活性剤とを含む酸性水の処理方法

発明者： 小畠 嘉修 ,  織田 信博 ,  小泉 求
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-224311
公開番号（公開出願番号）：特開平7-080473
出願日： 1993年09月09日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】 半導体リンス排水等のH2 O2 と界面活性剤とを含む酸性水から、H2 O2 及び界面活性剤を効率的に除去する。【構成】 白金触媒と接触させた後活性炭と接触させる。【効果】 白金触媒であればpH3以下のような酸性域であっても、H2 O2 をほぼ完全に分解除去できる。H2 O2 を白金触媒によりほぼ完全に分解除去し、その後の活性炭処理により、界面活性剤を効率的に吸着除去することができる。半導体リンス排水を原水とする超純水製造工程に極めて有効に適用することができる。

請求項（抜粋）：

過酸化水素と界面活性剤とを含む酸性水を、白金触媒と接触させた後活性炭と接触させることを特徴とする過酸化水素と界面活性剤とを含む酸性水の処理方法。

IPC (4件)：

C02F 1/58 ZAB ,  B01J 20/20 ,  B01J 23/42 ,  C02F 1/28 ZAB