特許

J-GLOBAL ID：200903063749909355

ワーク検査装置および検査方法

発明者： 安富 文夫 ,  片岡 久典 ,  梶浦 徹 ,  野尻 豊
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 香山 秀幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-047148
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260697
出願日： 1994年03月17日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、高精度の位置決めおよび角度補正を行う必要がなく、半導体ペレット等のワークの検査を高速に行えるワーク検査装置および検査方法を提供することを目的とする。【構成】 ワーク検査方法において、受光軸の周囲の複数点から光をワークに照射し、その反射光を受光することによって第1ワーク画像を生成し、受光軸に平行に光をワークに照射し、その反射光を受光することによって第2ワーク画像を生成し、第1ワーク画像および第2ワーク画像に基づいて、ワークの欠陥部を抽出する。

請求項（抜粋）：

受光軸の周囲の複数点から光をワークに照射し、その反射光を受光することによって第1ワーク画像を生成し、受光軸に平行に光をワークに照射し、その反射光を受光することによって第2ワーク画像を生成し、第1ワーク画像および第2ワーク画像に基づいて、ワークの欠陥部を抽出するワーク検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/66