特許
J-GLOBAL ID：200903063751847944
多段ルーツ式真空ポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三宅 始
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-042762
公開番号（公開出願番号）：特開2001-227487
出願日： 2000年02月21日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：
【要約】【課題】 前段室で真空吸引作用を後段室で加圧作用を生ずる構造とすると共に、容積効率の向上とポンプ本体の低温度化を図った多段ルーツ式真空ポンプを提供すること。【解決手段】 加圧作用を生ずる最終段室(第3段室z)の直前の真空作用を生ずる段室(第2段室y)の仮想線mに対して各々の回転軸4、5の中心から吸入口22と反対方向に120°の容積移動角度を越えた位置oから吸入口側へ60°だけ戻った位置tに、外気又は冷却空気の導入口28、29を設けたことにより、1台の多段(3段)ルーツ式真空ポンプでもって真空と加圧作用を同時に生じさせ、かつ送給量を増加させる構成とした。
請求項（抜粋）：
吸入口と吐出口を形成したケーシング内に一対の3葉のロータを設け、吸入口と吐出口間が連通することのないように両ロータを回転させることにより吸入口から空気を吸入し、吸入した空気を吐出口から吐出する少なくとも2段室以上からなる多段ルーツ式真空ポンプであって、前記吸入口は各ロータの回転軸の中心を結ぶ仮想線mに対して各々の回転軸の中心から120°の容積移動角度を越えた位置nに設けられ、前記吐出口は、各ロータの回転軸の中心を結ぶ仮想線mに対して各々の回転軸の中心から前記吸入口と反対方向に120°の容積移動角度を越えた位置oから、各回転軸の中心を中心とするケーシング内径円の交差する点qまでの領域の周壁部に少なくとも1つの空気通路孔を形成することにより設けられ、空気の吸引直後に吸入口側と吐出口側の2カ所に各ロータの隣り合う葉片とケーシングの内壁面とで囲まれる密閉空間を生じさせるように設け、加圧作用を生ずる最終段室の直前の真空作用を生ずる段室の吐出口側の前記仮想線mに対して各々の回転軸の中心から前記吸入口と反対方向に120°の容積移動角度を越えた位置oから吸入口側へ60°だけ戻った位置tの周壁部に、外気又は冷却空気の導入口を設けたことを特徴とする多段ルーツ式真空ポンプ。
IPC (5件)：
F04C 18/18
, E03F 5/22
, F04C 25/02
, F04C 29/00
, F04C 29/04
F04C 18/18 A
, F04C 18/18 C
, E03F 5/22
, F04C 25/02 K
, F04C 29/00 C
, F04C 29/04 E
2D063AA07
, 2D063DC04
, 3H029AA06
, 3H029AA17
, 3H029AA23
, 3H029AB02
, 3H029BB42
, 3H029CC24
, 3H029CC25
, 3H029CC47
