特許
J-GLOBAL ID：200903063758428068
プラズマモニタリング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-157844
公開番号（公開出願番号）：特開平10-002859
出願日： 1996年06月19日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：
【要約】【課題】 プラズマ生成装置において、レーザ誘起蛍光法を用いてプラズマの空間分布計測あるいは相対定量計測を行う方法を提供する。【解決手段】 プラズマ生成室1に生成するプラズマ5に対して光学窓11、15を介してレーザ光9を照射する。このときミラー15、16を用いてレーザ光9がプラズマ5の水平方向、垂直方向に異なる部分を通過する構成とする。このときレーザ光により誘起されプラズマ17a,17bから発せられる発光18を光学窓12を介して2次元CCDカメラ14で受ける。このときの2次元イメージにはレーザ光の通過した各部分に対応する蛍光が同時に撮影される。このような構成を用いればプラズマ中の空間的に異なる部分の状態を同時にモニタリングすることができる。
請求項（抜粋）：
プラズマ生成室内のプラズマの状態をレーザ誘起蛍光法を用いてモニタリングするプラズマモニタリング方法であって、前記プラズマ生成室内に入射するレーザ光をプラズマ生成室を通過させた後、前記レーザ光を反射させて前記プラズマ生成室内の異なる領域を通過させ、前記プラズマ生成室内の前記レーザ光の通過した各領域からの発光強度を同時に区別してモニタリングすることを特徴とするプラズマモニタリング方法。
IPC (2件)：
G01N 21/64
, H01L 21/3065
G01N 21/64 D
, H01L 21/302 E
