特許

J-GLOBAL ID：200903063764952445

セラミックス・グリーンシートおよびセラミックス・グリーンシート上にパターンを形成する方法

発明者： 正木 孝樹 ,  岩永 慶二 ,  芳村 亜紀子
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-122444
公開番号（公開出願番号）：特開平8-034096
出願日： 1995年05月22日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】【構成】 セラミックス・グリーンシート基板上に感光性樹脂組成物を光硬化した層を設けたことを特徴とするセラミックス・グリーンシート。【効果】 セラミックス・グリーンシート上に感光性ペーストを用いてパターン形成ができるので、L/S=20μm/20μmの微細な導体、抵抗体、誘電体、絶縁体パターンや50μmφのヴィアホール形成が可能となり、かつ低抵抗の導体パターンが得られ、セラミックス多層基板の内層導体の形成が可能になる。これらの結果、セラミックス多層基板の小形化、高密度化を一層可能にするものである。

請求項（抜粋）：

セラミックス・グリーンシート基板上に感光性樹脂組成物を光硬化した層を設けたことを特徴とするセラミックス・グリーンシート。

IPC (8件)：

B32B 18/00 ,  B28B 1/30 101 ,  B28B 11/04 ,  C04B 35/622 ,  G03F 7/027 501 ,  H05K 1/09 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/46

引用特許：

審査官引用 (7件)

• 特開平1-276129
  
• 特開平2-296779
  
• 特開平4-283946
  
• 特開平2-028654
  
• 特開平4-071294
  
• 特開平3-126950
  
• 感光性導電ペースト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-227876   出願人：東レ株式会社