特許
J-GLOBAL ID：200903063769764639
プラズマ処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055090
公開番号（公開出願番号）：特開平6-243994
出願日： 1993年02月20日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】 内部導体棒と外部導体管とよりなる二重管構造の高周波給電棒を処理室の下方側に配置して上部電極、下部電極間に高周波電力を供給するプラズマ処理装置において、高周波給電棒の内部の放電を防止すること。【構成】 内部導体棒51の上端を下部電極3に接続すると共に外部導体管52の上端を処理室2の底壁に接合して高周波給電棒5を構成し、内部導体棒51と外部導体管52との間に、絶縁材よりなるリング状の固定部材7、8を設けて相互の軸が一致するように固定する。この固定部材7、8には凹部71、81が形成され、長い沿面距離を確保している。また固定部材7及び内部導体棒51に夫々通気孔72、51aを形成し、ガス導入管91からSF6 ガスを導入して高周波給電棒5内をSF6 ガス雰囲気にする。
請求項（抜粋）：
処理室内にて下部電極と上部電極との間に高周波電力を供給して処理ガスをプラズマ化し、このプラズマにより下部電極上の被処理体を処理するプラズマ処理装置において、下端側が高周波電源に電気的に接続され、前記処理室の下方側から下部電極まで設けられた内部導体棒と、下端側が接地され、上端側が処理室の底部に接続された外部導体管とよりなる二重管構造の高周波給電棒と、この高周波給電棒の内部導体棒と外部導体管との間に設けられ、内部導体棒と外部導体管との相互の位置を固定するための絶縁材よりなる固定部材と、を備え、前記固定部材の表面に、高周波給電棒の周方向に沿って凹部及び/または凸部を形成したことを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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