特許
J-GLOBAL ID:200903063770077882
液滴吐出装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
渡邊 隆
, 志賀 正武
, 実広 信哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-135874
公開番号(公開出願番号):特開2004-337704
出願日: 2003年05月14日
公開日(公表日): 2004年12月02日
要約:
【課題】高速度でパターンを形成できる液滴吐出装置を提供することを目的とする。【解決手段】ステージ4上に載置されるガラス基板5に対して液滴を吐出するノズルを配列した吐出ヘッド群3を備え、ガラス基板5上に形成するパターンが繰り返し性を有する場合に、繰り返しの1周期分に相当するデータをビットマップ形式に変換し、変換後のデータを制御装置2に読み込んで、このビットマップデータから作成した吐出データに基づいて吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御するように構成した。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
液滴を吐出してワーク表面にパターンを複数形成するにあたり、前記パターンについてのデータを読み取って、液滴の吐出タイミングを制御する吐出データを作成し、前記吐出データに従って吐出ヘッドから液滴を吐出させる液滴吐出装置において、
前記パターンについてのデータとして、格子状に配列したピクセルから構成するデータであって、前記ワークに所定回数だけ繰り返して形成する前記パターンの1周期分に相当する単位データを取得し、この単位データを前もって設定された回数分だけ配列させて前記吐出データを作成する制御装置を有することを特徴とする液滴吐出装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (7件):
4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA13
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042BA08
引用特許:
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