特許
J-GLOBAL ID：200903063771304866
電子線照射装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中沢 謹之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-267702
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094135
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 照射窓を二重の窓箔構成とした場合でも、冷却風により窓箔が破れないようにし、および冷却風の吹付のための構成を簡略化することを目的とする。【構成】 補強桟9によって中央が支持されている窓箔3と、この窓箔の下方に中央が桟によって支持される二次窓箔11とをもって、照射窓2を二重の窓箔構成とする。両窓箔の中央の間に冷却風ダクト15を設ける。この冷却風ダクトよりその両側に向けて両窓箔の面に沿って冷却風を吹き付ける。両窓箔の中央からその両側に向かって冷却風が流れることにより、各窓箔は冷却されるとともに、窓箔の面に沿って流れた冷却風は照射窓の両側より抜けて出るようになる。そのため冷却風が窓箔に強く当たることはない。
請求項（抜粋）：
補強桟によって中央が支持されている窓箔と、前記窓箔の下方に中央が桟によって支持される二次窓箔とをもって二重の窓箔構成とした照射窓を備えた電子線照射装置において、前記窓箔および二次窓箔の間の中央に冷却風ダクトを設け、前記冷却風ダクトより前記照射窓の両側に向けて前記両窓箔の面に沿って冷却風を吹き付けてなる電子線照射装置。
IPC (2件)：
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