特許

J-GLOBAL ID：200903063775232100

荷電粒子線露光装置

発明者： 田中 慶一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-011133
公開番号（公開出願番号）：特開2002-217091
出願日： 2001年01月19日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
要約：

【要約】【課題】 荷電粒子線の軌道に悪影響を与える外乱磁場を低減し、パターン転写精度を向上できる荷電粒子線露光装置を提供する。【解決手段】 光学鏡筒1の上部には、電子銃3が配置されており、下方に向けて電子線を放射する。電子銃3の下方には、順にコンデンサレンズ4、電子線偏向器5、マスクMが配置されている。偏向器5とマスクMの間の電子線通路の周辺に、筒状の超伝導体からなる磁気シールド構造体41が配置されている。磁気シールド構造体41の外周には、さらに、一定の間隔(ギャップ)を空けて、強磁性体及び導電体の多層シールド構造体43が配置されている。

請求項（抜粋）：

感応基板に転写すべきデバイスパターンを有する原板を荷電粒子線照明する照明光学系と、前記原板を通過した荷電粒子線を前記感応基板上に投影結像させる投影光学系と、を具備する荷電粒子線露光装置であって、前記感応基板及び/又は原板近傍の荷電粒子線通路の周辺に、筒状の超伝導体からなる磁気シールド構造体を有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/305

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 A

Fターム (4件)：

5C034BB06 ,  5C034BB10 ,  5F056EA01 ,  5F056EA08