特許
J-GLOBAL ID：200903063786841884
3軸加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西川 惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-060609
公開番号（公開出願番号）：特開平11-242050
出願日： 1998年02月24日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：
【要約】【課題】可撓部を構成する梁の実質的な合計幅を狭くし、感度を向上した3軸加速度センサを提供するにある。【解決手段】可撓部2は2本の並行する梁21と、固定部1側の基部間を連結するように形成した別の梁22とにより構成して、実質的な可撓部2の幅を狭くしてある。各梁21の連結部3との連結部位には、x軸又はy軸用のピエゾ抵抗23又は24を形成し、別の梁22にはz軸用のピエゾ抵抗25を形成してある。
請求項（抜粋）：
基板の中心に作用部と、該作用部の周辺に設けた固定部と、作用部と固定部間に撓み可能に両端が連結された可撓部とを設けるとともに、可撓部と作用部の間に切込み溝を形成し、可撓部に歪により抵抗値が変化するピエゾ抵抗を設けた加速度センサであって、可撓部を長さ方向に並行配置された2本の梁と該2本の該梁間を固定部側にて連結する別の梁とで構成し、並行配置された2本の梁にx軸、y軸方向のピエゾ抵抗を形成し、別の梁にz軸方向のピエゾ抵抗を形成して成ることを特徴とする3軸加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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