特許

J-GLOBAL ID：200903063798376311

フォトレジスト用被膜形成材料、フォトレジスト組成物及びパターン形成方法

発明者： 村山 三素 ,  山下 吉雄 ,  神保 秀之
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社 ,  沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143141
公開番号（公開出願番号）：特開平11-338148
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】遠紫外光に対する光透過性に優れ、遠紫外光用として有用なフォトレジストを与える被膜形成材料、及びこのものを含有し、遠紫外光を露光光源とする高感度で、かつ解像度に優れるフォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】一般式[1](式中のX1及びX2は、それぞれ水素原子、-COOH、-CH2COOH、-CH(COOH)2又は-C(COOH)3であり、少なくとも一方は水素原子以外の基である)で表される繰り返し単位を有する数平均分子量3000〜30000の重合体からなるフォトレジスト用被膜形成材料、並びに、(A)上記被膜形成材料、(B)溶解抑止剤及び(C)光酸発生剤を含有してなるフォトレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

一般式[1]【化1】(式中のX1及びX2は、それぞれ水素原子、-COOH、-CH2COOH、-CH(COOH)2又は-C(COOH)3であり、それらはたがいに同一であってもよいし、異なっていてもよいが、X1及びX2の少なくとも一方は水素原子以外の基である)で表される繰り返し単位を有する数平均分子量3000〜30000の重合体からなるフォトレジスト用被膜形成材料。

IPC (5件)：

G03F 7/039 601 ,  C08L 69/00 ,  G03F 7/004 ,  C08G 64/02 ,  C08G 64/30

FI (5件)：

G03F 7/039 601 ,  C08L 69/00 ,  G03F 7/004 ,  C08G 64/02 ,  C08G 64/30