特許

J-GLOBAL ID：200903063809085730

レーザプラズマ光源

発明者： 永井 宏明 ,  持丸 象一郎 ,  堀川 嘉明
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-303804
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162286
出願日： 1994年12月07日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】 有害な液体金属を用いることなく、しかもプラズマに寄与しない物質を極力少なくして、プラズマ物質の付着を有効に防止できるレーザプラズマ光源を提供する。【構成】 レーザ光108をターゲット104上に集光して生成したプラズマからX線を発生させるようにしたレーザプラズマ光源において、ターゲット104を、0.1Paよりも低い蒸気圧を有する液体化合物をもって構成する。

請求項（抜粋）：

レーザ光をターゲット上に集光して生成したプラズマからX線を発生させるようにしたレーザプラズマ光源において、前記ターゲットを、0.1Paよりも低い蒸気圧を有する液体化合物をもって構成したことを特徴とするレーザプラズマ光源。