特許

J-GLOBAL ID：200903063818703268

4分割ウエハにおける扇形ウエハ片の位置決め方法,マウント方法及びマウント装置

発明者： 山本 信行 ,  黒川 光美 ,  上山 倫生
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 松本 英俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-007033
公開番号（公開出願番号）：特開平8-203987
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】 半導体ウエハを4分割切断してなる扇形ウエハ片を自動的に所要の姿勢に位置決めできる4分割ウエハにおける扇形ウエハ片の位置決め方法を提供する。【構成】 円形の半導体ウエハをその中心若しくはその近辺で直交するスクラブラインで4分割切断してなる各扇形ウエハ片1A,1B,1C,1Dに順番付けをする。これら扇形ウエハ片をその順番で決まる元の半導体ウエハ上で占めていた姿勢で且つその直交する切断縁が位置決め箇所の位置決め基準方向3aに対して平行と直交状態になるように位置決めする。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハをその中心若しくはその近辺で直交するスクラブラインで4分割切断してなる各扇形ウエハ片に順番付けをし、前記各扇形ウエハ片をその順番で決まる元の半導体ウエハ上で占めていた姿勢になるように位置決めすることを特徴とする4分割ウエハにおける扇形ウエハ片の位置決め方法。