低温焼成法による多層圧電/電歪セラミックアクチュエータの製造方法及びその方法によって製造された多層圧電/電歪セラミックアクチュエータ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-306816
公開番号（公開出願番号）：特開2001-024248
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】高変位で高速駆動が可能な、低温焼成法による多層圧電/電歪セラミックアチュエータ及びその製造方法を提供する。【解決手段】振動板を提供するステップと、振動板の上部に100〜500°Cで非爆発性酸化-還元燃焼反応によって製造され、粒子サイズが5μm以下であり、鉛、チタニウムを基本構成元素とする超微細セラミック酸化物粉末と、水又は有機溶媒をベースにして製造した超微細セラミック酸化物粉末と同一又は類似成分のゾル溶液とを混合して製造したペーストを使用して単一圧電/電歪膜を成形するステップと、単一圧電/電歪膜を100〜800°Cで熱処理するステップと、単一圧電/電歪膜上に上部電極を形成するステップとを含み、上部電極上に単一圧電/電歪膜を成形して熱処理するステップと、単一圧電/電歪膜上に上部電極を形成するステップとを反復することで多層の圧電/電歪膜及び上部電極を形成する。

請求項（抜粋）：

金属振動板を提供するステップと、前記振動板の上部に100〜500°Cの低温で非爆発性酸化-還元燃焼反応によって製造され、粒子の大きさが5μm以下であり、鉛、チタニウムを基本構成元素とする超微細セラミック酸化物粉末と、水又は有機溶媒をベースにして製造した前記超微細セラミック酸化物粉末と同一又は類似成分のセラミックゾル溶液とを混合して製造したセラミックペーストを使用して単一圧電/電歪膜を成形するステップと、前記単一圧電/電歪膜を100〜800°Cで熱処理するステップと、前記単一圧電/電歪膜上に上部電極を形成するステップとを含み、前記上部電極の上部に単一圧電/電歪膜を成形して熱処理するステップと、前記単一圧電/電歪膜上に上部電極を形成するステップとを繰り返すことで多層の圧電/電歪膜及び上部電極を形成する、低温焼成法による多層圧電/電歪セラミックアクチュエータの製造方法。

IPC (5件)：

H01L 41/22 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/083

FI (4件)：

H01L 41/22 Z , B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/08 S

Fターム (11件)：

2C057AF03 , 2C057AF93 , 2C057AG44 , 2C057AG49 , 2C057AG94 , 2C057AP02 , 2C057AP15 , 2C057AP54 , 2C057AQ02 , 2C057BA03 , 2C057BA14

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