特許

J-GLOBAL ID：200903063822979383

位置決め装置および露光装置ならびにデバイス製造方法

発明者： 堆 浩太郎 ,  小山内 英司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 西山 恵三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-026335
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223411
出願日： 1999年02月03日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 高速高精度に位置決め可能とする位置決め装置を提供する。【解決手段】 基準面を有する定盤と、該定盤に対して移動可能なサブステージと、該サブステージを該定盤に対して移動させる移動機構と、該サブステージと共に該定盤に対して移動可能なメインステージとを備え、該サブステージが移動する方向に対して該メインステージと該サブステージとを非接触で支持する非接触軸受と、該非接触軸受が支持している方向とほぼ平行な方向に該メインステージと該サブステージとの間で力を発生させる非接触アクチュエータとを並列に設けていることを特徴とし、前記非接触アクチュエータによって前記非接触軸受の見た目の軸受剛性を調整する。

請求項（抜粋）：

基準面を有する定盤と、該定盤に対して移動可能なサブステージと、該サブステージを該定盤に対して移動させる移動機構と、該サブステージと共に該定盤に対して移動可能なメインステージとを備え、該サブステージが移動する方向に対して該メインステージと該サブステージとを非接触で支持する非接触軸受と、該メインステージと該サブステージとの間で力を発生させる非接触アクチュエータとを並列に設けていることを特徴とする位置決め装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00

FI (3件)：

H01L 21/30 503 A ,  G01B 11/00 G ,  G03F 9/00 H

Fターム (18件)：

2F065CC17 ,  2F065DD03 ,  2F065FF55 ,  2F065FF61 ,  2F065PP00 ,  2F065PP12 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046DA08 ,  5F046DA11 ,  5F046DB04 ,  5F046DB14