特許
J-GLOBAL ID：200903063829409701
薄膜形成用マスキングホルダおよびそれを用いる薄膜形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小柴 雅昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-021415
公開番号（公開出願番号）：特開2000-219966
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：
【要約】【課題】 減圧下で乾式めっきによって薄膜を形成する工程において用いられるものであり、薄膜を形成すべき対象物の外表面の特定の領域を露出させるようにマスキングしながら、対象物を保持するための薄膜形成用マスキングホルダにおいて、対象物の外表面にマスクを密着させるためのクッション性を有するクッション材の材質を改善して、ここから水蒸気を放出しやすくすることによって、短い排気時間によっても、良好な薄膜を対象物上に形成できるようにする。【解決手段】 クッション材4として、フッ素系樹脂からなるものを用い、かつこれを多孔質構造とする。好ましくは、多孔質構造は、貫通孔によって与えられ、また、クッション材4は、複数箇所において互いに溶着されたフッ素系樹脂からなる繊維の集合体から構成される。
請求項（抜粋）：
減圧下で乾式めっきによって薄膜を形成する工程において用いられるものであり、薄膜を形成すべき対象物の外表面の特定の領域を露出させるようにマスキングしながら、当該対象物を保持する、薄膜形成用マスキングホルダであって、前記特定の領域を露出させた状態で前記対象物の外表面に接触するように配置されるマスクと、前記マスクを前記対象物に対して位置決めした状態で前記マスクおよび前記対象物を保持するためのホルダ本体と、前記対象物の外表面に前記マスクを密着させるためのクッション性を有するクッション材とを備え、前記クッション材は、フッ素系樹脂からなり、かつ多孔質構造を有することを特徴とする、薄膜形成用マスキングホルダ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/50 F
, C23C 16/04
4K029HA02
, 4K029HA03
, 4K030BB14
