特許
J-GLOBAL ID：200903063840252342
形状測定用光源装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-081842
公開番号（公開出願番号）：特開平5-280943
出願日： 1992年04月03日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 被測定面の反射率に拘わらず分解能が高くかつSN比が良好な出力信号を得ることができるようにレーザービームを被測定面へ照射することができる形状測定用光源装置を提供すること。【構成】 半導体レーザー14の射出側には半導体レーザー14から射出されるレーザービームのうち接合面に交差する方向のレーザービームを被測定面60Aに集束するコリメートレンズ16が配設され、コリメートレンズ16の射出側にはレーザービームを半導体レーザー14の接合面に沿う方向にスリット状に発散しかつ接合面に交差する方向ではそのまま通過させるシリンドリカルレンズ18が配設される。これにより、被測定面60Aには、半導体レーザー14の接合面に沿う方向に発散されたスリット状のレーザービームが照射される。
請求項（抜粋）：
レーザービームを射出する半導体レーザーと、前記レーザービームを前記半導体レーザーの接合面に交差する方向に集束させるレンズと、前記レンズから射出されたレーザービームを前記半導体レーザーの接合面に沿う方向に発散させかつ前記半導体レーザーの接合面に交差する方向ではそのまま通過させる発散手段と、を備えた形状測定用光源装置。
引用特許：
前のページに戻る
