特許
J-GLOBAL ID：200903063845253649
流体温度の制御装置及びその方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上村 輝之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-008739
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209125
出願日： 1997年01月21日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 温度制御の精度が高くかつ熱応答性も高い流体温度制御装置及び方法を提供する。【解決手段】 熱交換器2において、容器21の内側を温度制御対象の流体が流れ、この流体を容器21外側を流れる冷却液で冷却し、容器21の中心にあるヒーティングランプ25で流体を加熱する。流体を冷却するとき、必要冷却量より若干大きい冷却量を発揮する流量で冷却液を流すと共に、ランプ25も点灯し、ランプの加熱量で調節することにより、総合的な冷却量を制御する。冷却が必要となる時点以前に、前もって冷却液を流すと共にその冷却量を相殺する加熱量でランプを点灯しておき、冷却が必要になった時点からランプ出力を必要冷却量分だけ減少させて冷却を開始する。
請求項（抜粋）：
冷却液を用いて流体を冷却するための冷却手段と、前記流体を加熱するためのヒータと、前記冷却手段と前記ヒータを同時に駆動しつつ前記ヒータの出力を調節することにより前記流体の温度を制御するための同時駆動手段とを備えた流体温度の制御装置。
IPC (4件)：
H01L 21/3065
, F25D 13/00
, F28D 21/00
, F28F 27/02
H01L 21/302 B
, F25D 13/00 B
, F28D 21/00 B
, F28F 27/02 A
