特許
J-GLOBAL ID：200903063851884243
キャリア運搬用ハンドル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須藤 政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-264548
公開番号（公開出願番号）：特開平8-107135
出願日： 1994年10月04日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 半導体の製造に用いるウエハキャリアを運搬可能にするキャリア運搬用ハンドルを提供する。【構成】 複数のウエハ等の被処理物を収容する収納部を有するキャリア本体1の端面部に形成されたハンドル被装着部2に対して、着脱自在に挿入し得ると共に、該キャリア本体を運搬可能にするキャリア運搬用ハンドルBであって、キャリア本体の端面部に接して該キャリア本体を支持する受板本体と、該受板本体の上部に位置して上記ハンドル被装着部に挿入するための支承部と、該支承部の上部に位置して上記ハンドル被装着部にフックして上記ハンドルからキャリア本体が離脱するのを防止するための離脱防止用フック部と、該受板本体の下部に位置して上記キャリア本体の端面下方開脚部に嵌着して該キャリア本体を支えるカギ型受部と、該受板本体の側部に位置して該受板本体を把持して運搬可能にするための把持部9a,9bを有するキャリア運搬用ハンドル。
請求項（抜粋）：
複数のウエハあるいはホトマスク等の被処理物を収容する収納部を有するキャリア本体の端面部に形成されたハンドル被装着部に対して、着脱自在に挿入し得ると共に、該キャリア本体を運搬可能にするキャリア運搬用ハンドルであって、キャリア本体の端面部に接して該キャリア本体を支持する受板本体と、該受板本体の上部に位置して上記ハンドル被装着部に挿入するための支承部と、該支承部の上部に位置して上記ハンドル被装着部にフックして上記ハンドルからキャリア本体が離脱するのを防止するための離脱防止用フック部と、該受板本体の下部に位置して上記キャリア本体の端面下方開脚部に嵌着して該キャリア本体を支えるカギ型受部と、該受板本体の側部に位置して該受板本体を把持して運搬可能にするための把持部を有することを特徴とするキャリア運搬用ハンドル。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, G03F 1/14
, H01L 21/027
, B65D 85/86
H01L 21/30 502 J
, B65D 85/38 R
