特許
J-GLOBAL ID：200903063863660340
3次元周期構造体及びその作製方法並びに膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-040736
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335758
出願日： 1998年02月23日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 周期が1mm程度ないしそれ以下の3次元周期構造を提供する。【解決手段】 2次元的にほぼ周期的な凹凸を持つ2種類以上の膜状物質をほぼ周期的に順次に積層した構造を持つ、3次元的にほぼ周期的な構造体から成る。一例として、屈折率の異なる材料1と材料2から構成される。簡単な製造方法により、周期が1mm程度ないしそれ以下の3次元周期構造体が得られる。この構造によって、着目する波長に対して、基板の面内の複数の軸方向および積層の方向を含む多くの立体角方向への伝搬を遮断させることができる。
請求項（抜粋）：
2次元的に周期的な凹凸をもつ基板の上に2種類以上の物質を周期的に順次積層し、その積層の中の少なくとも一部分にスパッタエッチングを単独で、または成膜と同時に用いることにより形成したことを特徴とする3次元的に周期的な構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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