特許
J-GLOBAL ID：200903063872965146
ポジ型感光性樹脂組成物
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-206158
公開番号（公開出願番号）：特開平11-102069
出願日： 1998年07月22日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】 高感度で高残膜率のパターンを得ることができ、封止樹脂及び基板との密着性に優れるポジ型感光性樹脂、及び封止樹脂との密着性に優れるポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】 一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部、フェノール化合物(C)1〜50重量部、有機ケイ素化合物(D)1〜20重量部及び溶剤からなるポジ型感光性樹脂組成物。【化1】
請求項（抜粋）：
一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部、一般式(2)及び/又は(3)で表わされるフェノール化合物(C)1〜50重量部、一般式(4)及び/又は(5)で表される有機ケイ素化合物(D)1〜20重量部及び溶剤からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】【化3】【化4】【化5】
IPC (10件)：
G03F 7/022 601
, C08G 69/32
, C08K 5/13
, C08K 5/23
, C08K 5/54
, C08L 77/06
, G03F 7/037
, G03F 7/039 601
, G03F 7/075 501
, H01L 21/027
G03F 7/022 601
, C08G 69/32
, C08K 5/13
, C08K 5/23
, C08K 5/54
, C08L 77/06
, G03F 7/037
, G03F 7/039 601
, G03F 7/075 501
, H01L 21/30 502 R
