超音波モータ及び超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-201408
公開番号（公開出願番号）：特開2002-027768
出願日： 2000年07月03日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：

【要約】【課題】超音波モータに備える押圧部材の摩耗や脱粒を抑え、寿命を向上させるとともに、可動体と安定した接触状態が得られ、かつ可動体との適度な摩擦力が得られるようにする。【解決手段】超音波モータの押圧部材を、アルミナ含有量が99.5重量%以上で、かつビッカース硬度が15.2GPa以上であるアルミナセラミックスあるいは単結晶アルミナにより形成し、上記押圧部材の可動体との当接面を算術平均粗さ(Ra)で0.2μm以下とする。

請求項（抜粋）：

振動体と、該振動体の振動を可動体側に伝達する押圧部材とからなる超音波モータにおいて、上記押圧部材を、アルミナ含有量が99.5重量%以上で、かつビッカース硬度が15.2GPa以上であるアルミナセラミックスにより形成するとともに、上記可動体側と接触する当接面を算術平均粗さ(Ra)で0.2μm以下としたことを特徴とする超音波モータ。

IPC (2件)：

H02N 2/00 , B23Q 5/28

FI (2件)：

H02N 2/00 C , B23Q 5/28 Z

Fターム (16件)：

5H680AA12 , 5H680BB13 , 5H680BC09 , 5H680BC10 , 5H680CC02 , 5H680DD02 , 5H680DD23 , 5H680DD39 , 5H680DD53 , 5H680DD59 , 5H680DD65 , 5H680DD74 , 5H680GG02 , 5H680GG42 , 5H680GG43 , 5H680GG44

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