特許
J-GLOBAL ID:200903063883980317
ダイシング・ダイボンドフィルム
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (4件):
鈴木 崇生
, 梶崎 弘一
, 尾崎 雄三
, 谷口 俊彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-164721
公開番号(公開出願番号):特開2005-005355
出願日: 2003年06月10日
公開日(公表日): 2005年01月06日
要約:
【課題】ワークをダイシングする際の保持力と、ダイシングにより得られるチップ状ワークをそのダイ接着用接着剤層と一体に剥離する際の剥離性とのバランス特性に優れるダイシング・ダイボンドフィルムを提供すること。【解決手段】支持基材(1)上に粘着剤層(2)を有し、当該粘着剤層(2)上にはダイ接着用接着剤層(3)を有するダイシング・ダイボンドフィルムであって、前記粘着剤層(2)の表面は、ヨウ化メチレンに対する接触角:θが70°以上であることを特徴とするダイシング・ダイボンドフィルム。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
支持基材(1)上に粘着剤層(2)を有し、当該粘着剤層(2)上にはダイ接着用接着剤層(3)を有するダイシング・ダイボンドフィルムであって、
前記粘着剤層(2)の表面は、ヨウ化メチレンに対する接触角:θが70°以上であることを特徴とするダイシング・ダイボンドフィルム。
IPC (3件):
H01L21/301
, C09J7/02
, C09J201/00
FI (3件):
H01L21/78 M
, C09J7/02 Z
, C09J201/00
Fターム (9件):
4J004AB01
, 4J004AB06
, 4J004CE01
, 4J004FA05
, 4J040JA09
, 4J040JB02
, 4J040JB07
, 4J040JB09
, 4J040NA20
引用特許:
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