特許

J-GLOBAL ID：200903063885701865

薬液脱気装置および薬液脱気方法

発明者： 上西 理玄 ,  福島 則明
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-132579
公開番号（公開出願番号）：特開2000-317210
出願日： 1999年05月13日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】 送液時の空気泡の巻き込みや薬液の汚染を防止し、高い薬液純度を維持しつつ充分な脱気を行うことのできる薬液脱気装置および薬液脱気方法を提供すること。【解決手段】 薬液貯蔵容器1を隔膜6よりも上方に配置し、重力によって、薬液貯蔵容器1に貯蔵された薬液2が脱気部14を経由して吐出口15へ送液されるようにする。

請求項（抜粋）：

薬液を貯蔵するための薬液貯蔵容器と、該薬液中の溶存気体を脱気する隔膜を含む脱気手段と、前記脱気手段により脱気された薬液を吐出する吐出口と、前記薬液貯蔵容器と前記脱気手段とを接続する第一の流路と、前記脱気手段に接続され、脱気された薬液を吐出口へ送液するための第二の流路とを備えた薬液脱気装置であって、前記薬液貯蔵容器は前記隔膜よりも上方に配置され、前記薬液貯蔵容器に貯蔵された薬液は、重力によって、前記脱気手段を経由して前記吐出口へ送液されるようになっていることを特徴とする薬液脱気装置。

IPC (5件)：

B01D 19/00 101 ,  B01D 53/22 ,  G02F 1/13 101 ,  G03F 7/38 501 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

B01D 19/00 101 ,  B01D 53/22 ,  G02F 1/13 101 ,  G03F 7/38 501 ,  H01L 21/30 563

Fターム (11件)：

2H088FA18 ,  2H088FA22 ,  2H088MA20 ,  2H096GA21 ,  2H096LA30 ,  4D006GA32 ,  4D006HA01 ,  4D006HA41 ,  4D006PC01 ,  4D011AA16 ,  5F046JA01