特許
J-GLOBAL ID：200903063887828587
圧電振動子およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-070303
公開番号（公開出願番号）：特開平6-343017
出願日： 1994年04月08日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【構成】 パッケージ部材11と蓋19とを有し、パッケージ部材はスルーホール10と引き出し電極15と接合層16と凹部12を有し、引き出し電極はパッケージ部材上面からスルーホールを通じてパッケージ部材下面にかけて設け、接合層はパッケージ部材の上面の周囲に設け、蓋は凹部を設け、蓋とパッケージ部材とを接合することにより、蓋でスルーホールを塞ぎ気密封止をおこなう圧電振動子およびその製造方法。【効果】 従来のように引き出し電極上を絶縁膜で平坦化する必要がなくなり、リークによる不良率を極めて小さくすることができる。またさらに、パッケージ部材の下面に引き出し電極を形成するため、従来のように引き出し電極と回路基板上のコンタクト部をワイヤーボンディングによるワイヤーで結線する必要が無くなり、表面実装が可能となる。
請求項（抜粋）：
パッケージ部材と蓋とを有し、パッケージ部材は、スルーホールと引き出し電極と接合層とを有し、引き出し電極は、パッケージ部材上面からスルーホールを通じてパッケージ部材下面にかけて設け、接合層は、パッケージ部材の上面の周囲に設け、蓋は、凹部を設け、蓋と、パッケージ部材とを接合することにより、蓋でスルーホールを塞ぎ気密封止をおこなうことを特徴とする圧電振動子。
IPC (3件)：
H03H 9/10
, H03H 3/02
, H03H 9/13
