特許
J-GLOBAL ID：200903063887911280
圧電素子およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川井 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-044649
公開番号（公開出願番号）：特開平10-224173
出願日： 1997年02月12日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 実用上十分な諸特性が得られる圧電素子およびその製造方法を提供すること。【解決手段】 水晶基板10の表面に、レジスト・パターン11を形成する(A)。砥粒を高圧の気体とともに噴射させ、レジスト・パターン11から露出する水晶基板10の表面側を、水晶基板10の厚さの1/2の深さまで削る(B)。レジスト・パターン11と同一形状からなるレジスト・パターン13を、水晶基板10の裏面側に形成する(C)。砥粒を高圧の気体とともに噴射させ、レジスト・パターン13から露出する水晶基板10の裏面側を貫通するまで削る(D)。表裏のレジスト・パターン11、13を剥離し、水晶振動子14を得る(E)。これにより、水晶振動子14の形状は、厚み方向において上下対称となり、その諸特性が著しく低下せず、実用上十分な諸特性が得られる。
請求項（抜粋）：
電極を取付け可能な2つの対向する平面と、この2つの平面を除く周面とを備える圧電素子であって、前記周面を構成する各面は、外方に突出する2つの傾斜面から形成されることを特徴とする圧電素子。
IPC (3件)：
H03H 9/19
, H01L 41/22
, H03H 3/02
H03H 9/19 A
, H03H 3/02 B
, H01L 41/22 Z
