特許
J-GLOBAL ID：200903063893491446

塗布工具および塗布装置

発明者：
安竹 睦実

安竹 睦実 について

, 
福田 努

福田 努 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  江口 昭彦 ,  杉浦 秀幸 ,  村山 靖彦 ,  柳井 則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-032565
公開番号（公開出願番号）：特開2004-243152
出願日： 2003年02月10日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：
【課題】塗布工具の長手方向に渡って均一に塗布液を吐出することのできる塗布工具およびこの塗布工具を備えた塗布装置を提供すること。【解決手段】ヘッド部構成体2,3が組み合わされて構成された工具本体1を備え、対向して配置されているヘッド部構成体2,3の側面2a,3aにより工具本体1の先端面に連通するスロット4が画成されており、工具本体1に供給された塗布液がスロット4を通過して吐出される塗布工具において、ヘッド部構成体2,3が超硬合金で形成されており、ヘッド部構成体2,3の少なくとも先端部が、1μm以下の平均粒径の超微粒超硬合金により形成されていることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数のヘッド部構成体が組み合わされて構成された工具本体を備え、対向して配置されている前記ヘッド部構成体の側面により前記工具本体の先端面に連通するスロットが画成されており、前記工具本体に供給された塗布液が前記スロットを通過して吐出される塗布工具において、 前記ヘッド部構成体が超硬合金で形成されていることを特徴とする塗布工具。
IPC (1件)：
B05C5/02
FI (1件)：
B05C5/02
Fターム (4件)：
4F041AA12 ,  4F041AB02 ,  4F041BA11 ,  4F041BA17
引用特許：
審査官引用 (4件)
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