特許
J-GLOBAL ID：200903063903180134
基板付薄膜積層デバイスおよびその製法
発明者：
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
友松 英爾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-189336
公開番号（公開出願番号）：特開平5-005871
出願日： 1991年07月03日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：
【要約】【目的】 基板から薄膜積層デバイスに不純物が移行するのを防ぐために設ける層により発生するカールを防止する。【構成】 基板の両面に同時に無機物質からなる薄膜を形成してなる基板付薄膜積層デバイス。
請求項（抜粋）：
プラスチック基板と該基板上に形成された薄膜積層デバイスにおいて、該基板の一方の面に無機物質からなる薄膜の第1無機材料層を、他方の面に無機物質からなる薄膜の第2無機材料層を有することを特徴とする基板付薄膜積層デバイス。
引用特許：
前のページに戻る
