特許

J-GLOBAL ID：200903063906889649

磁気抵抗効果型ヘッドの製造方法

発明者： 佐藤 善顕
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-097993
公開番号（公開出願番号）：特開平10-275315
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：

【要約】【課題】 高い保磁力を有する安定した組成の硬磁性層を得ることができる磁気抵抗効果型ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 硬磁性層9をCoPtをもって積層形成する際の雰囲気条件として、まず、6×10-7Torr以下のバックグランドの真空度とした後、このバックグランドの真空度の雰囲気中に酸素ガスを導入し、この後、この酸素ガスを導入したバックグランドの真空度を、4×10-6Torr以上5×10-5Torr以下に設定した

請求項（抜粋）：

基板上に積層方向に所定の傾斜を設けた磁気抵抗効果素子を設け、この磁気抵抗効果素子を外包するように下地層と硬磁性層と電極層とが順次積層された磁気抵抗効果型ヘッドの製造方法において、前記硬磁性層をCoPtをもって積層形成する際の雰囲気条件として、まず、6×10-7Torr以下のバックグランドの真空度とした後、このバックグランドの真空度の雰囲気中に酸素ガスを導入し、この後、この酸素ガスを導入したバックグランドの酸素分圧を、4×10-6Torr以上5×10-5Torr以下に設定したことを特徴とする磁気抵抗効果型ヘッドの製造方法。