特許

J-GLOBAL ID：200903063908198333

微小変位量の測定方法及び装置

発明者： 須原 浩之
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 石橋 佳之夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-008473
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196619
出願日： 1996年01月22日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 被検物の変位量と傾き量のどちらも計測することが可能であり、温度変動の影響を受けにくく、さらには、高分解能化が可能な微小変位量の測定方法及び装置を得る。【解決手段】 レーザ光源を用い、光路を分割して、被検物と、基準となる参照面とにレーザ光を照射し、その被検光と参照光とを重畳させる手段を有し、上記被検光と参照光の光路長が略一致している干渉計を用い、位相差がπ/2異なる干渉縞強度を検出する手段を有する。

請求項（抜粋）：

レーザ光源を用い、光路を分割して、被検物と、基準となる参照面とにレーザ光を照射し、その被検光と参照光とを重畳させる手段を有し、上記被検光と参照光の光路長が略一致している干渉計を用い、位相差がπ/2異なる干渉縞強度を検出する手段を有することを特徴とする微小変位量の測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02

FI (2件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 9/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-255902
  
• 特公平5-062922
  
• 特開平3-255902
  
• 特公平5-062922