特許
J-GLOBAL ID：200903063911921763
タツチプローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-251654
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087509
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【目的】 測定力に方向性がなく、かつ簡単な構成で敏感に接触を検出でき、さらに外部環境の影響による誤差の少ないタッチプローブを提供する。【構成】 圧電素子によって共振状態で超音波振動しているフィーラーが被測定物に接触すると、共振状態が乱れ、圧電素子3の電極3c、3d間の電流と電圧との位相差が変化する。この変化は、接触したときの位相差測定回路31の測定値とラッチ28に設定した設定値とを比較し、測定値が設定値を越えたときコンパレータ29よりタッチ信号を出力して検出する。設定値には、所定の時間毎にCPU30により発振回路10の発振周波数を変化させ、位相差の極小値を自動的に設定する。
請求項（抜粋）：
被測定物に接触させるためのフィーラーと、前記フィーラーを保持する保持部材と、前記フィーラーを超音波振動させるために前記保持部材に装着した圧電素子と、前記圧電素子の電極間に高周波電気信号を入力して、前記フィーラーと前記保持部材とを共振状態で超音波振動させる発振手段と、前記電極間に流れる電流と前記電極間の電圧との位相差を測定する位相差測定手段と、前記発振手段の出力する高周波電気信号の周波数を順次所定のステップで変化させつつ、隣接するステップ間で前記位相差を比較して前記位相差の極小値を求め、この位相差の極小値を出力する極小値検出手段と、前記極小値検出手段で出力された位相差を設定値として保持する記憶手段と、所定の時間毎に前記設定値を更新する更新手段と、前記位相差測定手段で測定された位相差と前記記憶手段に保持された設定値とを比較し、不一致の場合にはタッチ信号を出力する位相差比較手段と、を有することを特徴とするタッチプローブ。
IPC (2件)：
G01B 7/00
, G01B 21/20 101
