クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岸本瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-030508
公開番号（公開出願番号）：特開平8-224572
出願日： 1995年02月20日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【構成】超純水使用後の排水のうち濃厚排水を濃縮用多重効用蒸発装置によって濃縮し、同装置から出た濃縮排水をさらに高濃縮用多重効用蒸発装置によって高濃縮し、濃縮用多重効用蒸発装置から回収した蒸留水を1次純水製造装置へ供給水の一部としてリサイクルし、高濃縮用多重効用蒸発装置から回収した蒸留水を冷却装置へ補給水として供給し、超純水使用後の排水のうち希薄排水を1次純水製造装置へ供給水の一部としてリサイクルし、熱源としてボイラまたはコージェネレーション装置からの加熱蒸気を用いる、クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法である。【効果】プロセスが大幅に簡略化される。設備全体の建設費、設置面積が低減できる。要素技術数、要素機器・装置数が少なくなり、その運転および維持管理が容易となる。

請求項（抜粋）：

1次純水製造装置と2次純水製造装置によって原水から超純水を製造するに当たり、超純水使用後の排水のうち濃厚排水を濃縮用多重効用蒸発装置によって濃縮し、同装置から出た濃縮排水をさらに高濃縮用多重効用蒸発装置によって高濃縮し、濃縮用多重効用蒸発装置から回収した蒸留水を1次純水製造装置へ供給水の一部としてリサイクルし、高濃縮用多重効用蒸発装置から回収した蒸留水を冷却装置へ補給水として供給し、高濃縮用多重効用蒸発装置から出た高濃縮排水を必要に応じて蒸発乾燥装置によって固化し、超純水使用後の排水のうち希薄排水を1次純水製造装置へ供給水の一部としてリサイクルし、1次および2次純水製造装置、濃縮用および高濃縮用多重効用蒸発装置、並びに必要に応じて設けられる蒸発乾燥装置の熱源として、ボイラまたはコージェネレーション装置からの加熱蒸気を用いることを特徴とする、クローズドシステムの超純水製造および排水処理方法。

IPC (10件)：

C02F 1/04 , B01D 1/26 , B01D 53/86 ZAB , B01D 61/02 500 , C02F 1/20 , C02F 1/44 , C02F 1/66 510 , C02F 1/66 521 , C02F 1/66 540 , C02F 1/66

FI (10件)：

C02F 1/04 G , B01D 1/26 Z , B01D 61/02 500 , C02F 1/20 A , C02F 1/44 J , C02F 1/66 510 K , C02F 1/66 521 B , C02F 1/66 540 Z , C02F 1/66 540 D , B01D 53/36 ZAB G

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