露光装置および方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-073120
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246170
出願日： 1996年03月05日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】1個の素子を複数エリアに分けて露光する際、より短い時間で露光する。【解決手段】 1つの露光エリアを複数のサブエリアに分け、分けたサブエリアの隣り合うサブエリアを一部重なり合うように設定し、露光光源としてパルス光を用い、各サブエリアのそれぞれを複数のパルス光で露光するとともに、その露光パルス数に応じて前記一部重なり合うエリアにおいてマスキングブレードを移動させる。光源に連続光を使用する場合は、露光シャッタを複数回開閉して露光光をパルス化し、露光シャッタの開閉回数に基づいて、マスキングブレードの位置を1サブエリアの露光中に変化させる。

請求項（抜粋）：

被露光体上の1つの露光エリアを複数のサブエリアに分けて露光する露光装置において、隣り合うサブエリア同士の一部が重なり合うように各サブエリアを設定する手段と、被露光体上の露光すべき部分を他の部分から区分するマスキングブレードと、光源にパルス光を使用し、前記マスキングブレードにより区分された部分を複数個のパルス光により露光する手段と、露光中、前記隣り合うサブエリア間を区分するマスキングブレードの位置をこれらの隣り合うサブエリア同士の重なり合う部分内で前記露光パルス数に基づいて移動させる手段とを具備することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 514 B , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 B , H01L 21/30 516 B , H01L 21/30 516 D

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