特許
J-GLOBAL ID：200903063929766889
能動除振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-084460
公開番号（公開出願番号）：特開平9-250591
出願日： 1996年03月14日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：
【要約】【課題】 制振性能を損なうことなく除振性能を大幅に改善し、かつ除振フィードフォワードに用いる適応ディジタルフィルタの演算負荷を減少させる。【解決手段】 除振台と、除振台を防振支持する支持機構と、除振台を防振支持するとともに除振台に制御力を加える空気圧アクチュエータと、除振台の振動を検出する第1の振動検出手段と、第1の振動検出手段の検出信号を入力としフィードバック制御則に基づいてフィードバック制御信号を発生するフィードバック補償器と、除振台とそれを防振支持する支持機構からなる除振系が設置される装置設置基礎の振動を検出する第2の振動検出手段と、第2の振動検出手段の検出信号と第1の振動検出手段の検出信号を入力としパラメータ調整則に基づき補償器の係数を逐次更新し第2の振動検出手段の検出信号を参照してフィードフォワード制御信号を生成する適応フィルタと、前記フィードバック制御信号と前記フィードフォワード制御信号を合成し前記空気圧アクチュエータに駆動信号を加える手段とを設ける。
請求項（抜粋）：
精密機器を搭載した除振台と、前記除振台を防振支持する支持機構と、前記除振台を防振支持するとともに前記除振台に制御力を加える空気圧アクチュエータと、前記除振台の振動を検出する第1の振動検出手段と、前記第1の振動検出手段により検出された除振台の振動信号を入力としフィードバック制御則に基づいてフィードバック制御信号を発生するフィードバック補償器と、前記除振台とそれを防振支持する支持機構とからなる除振系が設置される装置設置基礎の振動を検出する第2の振動検出手段と、前記第2の振動検出手段により検出された装置設置基礎の振動信号と前記除振台の振動信号を入力としパラメータ調整則に基づき補償器の係数を逐次更新し前記装置設置基礎の振動信号を参照してフィードフォワード制御信号を生成する適応フィルタと、前記フィードバック制御信号と前記フィードフォワード制御信号を合成し前記空気圧アクチュエータに駆動信号を加える手段とを具備することを特徴とする能動除振装置。
IPC (3件)：
F16F 15/02
, G02B 21/24
, H01L 21/027
F16F 15/02 A
, G02B 21/24
, H01L 21/30 503 F
