カラーフィルターの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-178814
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043618
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】カラーフィルターの断面形状をなだらかな順テーパー形状とし、透明樹脂層を形成することなく透明導電膜の断線を防止するカラーフィルターの製造方法を提供することを目的とする。【構成】カラーフィルターの製造工程のうちレジスト塗布後のプレベーク工程において、基板の上下にあるホットプレート及びクールプレートに温度差をつけることにより、現像後の断面形状を順テーパーとする。

請求項（抜粋）：

着色顔料を分散した光硬化型の感光性樹脂層をパターン露光し、現像し、ポストベークして所望形状のカラーフィルター層を得るカラーフィルターの製造方法において、前記の感光性樹脂層を基板上に塗布した後、感光性樹脂層の下方から加熱し、上方からは冷却するプレベーク工程を経て、パターン露光することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。

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