特許
J-GLOBAL ID：200903063932540034
光により制御される作動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-143092
公開番号（公開出願番号）：特開平9-324803
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：
【要約】【課題】制御用の光を導くための構造が簡素で、小形化に有効とする。【解決手段】光透過基板100の一方の面に、枠状部11aとダイアフラム11bとで密閉室を形成し、この密閉室に作用流体11cを充填し、予め設定した波長の光のみを導入するように密閉室内に光感応体30を設ける。そして予め設定した波長の光のオンオフに応じて前記作用流体の膨脹/収縮制御を得て、前記ダイアフラムを駆動制御するものである。
請求項（抜粋）：
光透過基板の一方の面に設けられる枠状部とこの枠状部の一部に設けられたダイアフラムとで密閉室を形成し、この密閉室に作用流体を充填した光駆動アクチュエータと、前記密閉室内に予め設定した波長の光のみを導入するように前記密閉室内もしくは前記光透過基板の他方の面の少なくともいずれか一方に設けられたけられた光感応体とを具備し、前記予め設定した波長の光のオンオフに応じて前記作用流体の膨脹/収縮制御を得て、前記ダイアフラムを駆動制御するようにしたことを特徴とする光により制御される作動装置。
引用特許：
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