特許

J-GLOBAL ID：200903063932652304

X線検出装置

発明者： 和田 幹生 ,  佐藤 敏幸
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-190523
公開番号（公開出願番号）：特開平10-039038
出願日： 1996年07月19日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】 対象物の情報を含んだX線のエネルギ空間分布を一度の測定で効率よく得ることのできる小型なX線検出装置を提供する。【解決手段】 X線光学系1で結像したX線を2次元的に検出する検出器2として、CdTe、CdTeZn等を主成分とする半導体から作製された多チャンネル2次元位置検出型半導体素子を用いることで、位置分解能・エネルギ分解能が十分に小さなX線像データを得る。

請求項（抜粋）：

対象物の情報を含んだX線を結像するX線光学系と、その光学系により結像されるX線を2次元的に検出する多チャンネル2次元位置検出型半導体素子と、この位置検出型半導体素子の出力をフォトンカウンティング方式に基づいて信号処理してX線のエネルギ空間分布に関する電気信号データを得る回路系を備えてなるX線検出装置。

IPC (4件)：

G01T 1/24 ,  G01N 23/223 ,  H01L 21/66 ,  H01L 31/0264

FI (5件)：

G01T 1/24 ,  G01N 23/223 ,  H01L 21/66 L ,  H01L 21/66 J ,  H01L 31/08 N