特許
J-GLOBAL ID：200903063935742762
炭化珪素単結晶ウエハの製造方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-288129
公開番号（公開出願番号）：特開平8-143397
出願日： 1994年11月22日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：
【要約】【目的】 昇華法により炭化珪素単結晶を成長し、得られたインゴットを成長方向に平行に、あるいは、平行方向から数度傾けた方向に切断してウエハを得る場合に、大型で形の揃ったウエハを多くの枚数製造できるようにする。【構成】 昇華法によって炭化珪素単結晶を成長するときに、用いるるつぼあるいは成長室の内壁の形状を、長円形あるいは角が丸い四角形を底面とする筒状とし、得られたインゴットを成長方向に平行に、あるいは、平行方向から数度傾けた方向に切断してウエハを得る。
請求項（抜粋）：
黒鉛製のるつぼ内の炭化珪素原料粉末を不活性気体雰囲気中で昇華させ、炭化珪素基板上に炭化珪素単結晶インゴットを成長させ、炭化珪素単結晶インゴットを切断して、炭化珪素単結晶ウエハを製造する方法において、るつぼあるいは成長室の内壁の形状が、長円形あるいは角が丸い四角形を底面とした筒状であって、炭化珪素種結晶を底面の位置に設置し、炭化珪素単結晶インゴットを底面に垂直な方向に成長させ、炭化珪素単結晶インゴットを成長方向に対して平行に、あるいは、平行方向から数度傾けた方向に切断することを特徴とする炭化珪素単結晶ウエハの製造方法。
IPC (5件)：
C30B 29/36
, B28D 5/00
, C30B 23/06
, C30B 33/00
, H01L 21/02
