特許
J-GLOBAL ID:200903063936732159

光吸収性反射防止体およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 泉名 謙治 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-155412
公開番号(公開出願番号):特開平10-096801
出願日: 1997年06月12日
公開日(公表日): 1998年04月14日
要約:
【要約】【課題】低反射の波長範囲の広い反射防止体を簡単な膜構成で得る。【解決手段】低反射となる波長範囲が広くなるような、ある特定の波長分散を持つ屈折率と消衰係数を示す光吸収物質を用いた光吸収性反射防止体とその製造方法。
請求項(抜粋):
基体上に、基体側から、光吸収膜、可視光に対し実質的に透明な誘電体膜がこの順に形成され、該誘電体膜側からの入射光の反射を低減させる光吸収性反射防止体において、該光吸収膜の複素光学定数をn-ik(屈折率n、消衰係数k)、幾何学的膜厚をdとし、該誘電体膜の屈折率をn<SB>2</SB> 、幾何学的膜厚をd<SB>2</SB> とし、波長400nmでのkをk<SB>400</SB> 、波長700nmでのkをk<SB>700</SB> 、波長400nmでのnをn<SB>400</SB> 、波長400nmでのnをn<SB>700</SB> とし、n<SB>ave</SB> =(n<SB>400</SB> +n<SB>700</SB> )/2、k<SB>ave</SB> =(k<SB>400</SB> +k<SB>700</SB> )/2、n<SB>dif</SB> =n<SB>400</SB> -n<SB>700</SB> 、k<SB>dif</SB> =k<SB>700</SB>-k<SB>400</SB> 、関数f(n<SB>2</SB> )=1.6n<SB>2</SB> -2.2としたときに、該光吸収膜の光学定数が次式をいずれも満たすことを特徴とする光吸収性反射防止体。【数1】n<SB>dif</SB> >0.5k<SB>dif</SB> >0.5f(n<SB>2</SB> )-0.2<n<SB>ave</SB> k<SB>ave</SB> d/d<SB>2</SB> <f(n<SB>2</SB> )+0.2
IPC (4件):
G02B 1/11 ,  C03C 17/36 ,  G09F 9/00 318 ,  H01J 29/88
FI (4件):
G02B 1/10 A ,  C03C 17/36 ,  G09F 9/00 318 A ,  H01J 29/88

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