外径測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-134073
公開番号（公開出願番号）：特開平9-287924
出願日： 1996年04月19日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】大型化することなく走査領域が広くかつ走査光線ビームの平行度の高い外径測定装置を提供することである。【解決手段】 fθレンズ15、回転多面鏡14および回転多面鏡1に入射するビーム12を、同一平面上に配置して平行走査光線ビーム発生手段11の薄型化を図る。加えて、平行走査光線ビームの平行度を向上させるために、fθレンズ15の光軸を平行走査光線ビームの光軸に対して傾斜させる。

請求項（抜粋）：

ビーム発生手段から発生したビームを反射して回転走査光線ビームとする回転多面鏡と、前記回転走査光線ビームを平行走査光線ビームに変換するfθレンズとを含む平行走査光線ビーム発生手段と、前記平行走査光線ビームを受光する受光手段とを有し、前記平行走査光線ビーム発生手段と前記受光手段との間の平行走査光線ビームの走査領域内に被測定物を配置し、前記被測定物による平行走査光線ビームの遮り時間から前記被測定物の外径を測定する外径測定装置において、前記ビーム発生手段から発生したビームは前記走査領域を含む平面に含まれ、かつ前記平行走査光線ビームに変換される回転走査光線ビームの領域外から前記回転多面鏡に入射し、前記fθレンズの光軸は、前記平行走査光線ビームの光軸に対して傾斜して配置されている、ことを特徴とする外径測定装置

引用特許：

審査官引用 (1件)

走査光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-017539 出願人：キヤノン株式会社

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